刻蚀机排名前三是泛林半导体、应用材料、东京电子。
蚀刻机主要负责把复制到硅片上的电路结构进行微雕，雕刻出沟槽和接触点，为线路提供空间。美国泛林半导体、应用材料以及日本的东京电子这三家顶尖的蚀刻机公司占据了94%的市场。国内蚀刻机龙头企业是中微半导体，精度5纳米。
