先说结论，sputtering工艺使用ar原子的原因如下。sputtering工艺之所以使用ar原子，就是因为AR原子具有良好的导电性和信息传递性，能够在微电子元件的应用领域发挥极大的信息传导价值和信息固定能力，大幅度地提升电子产品的性能
