MEMS麦克风的基本声学参数是灵敏度，SNR，频率响应和声学过载点。它们分别定义如下：
灵敏度是麦克风输出端的电信号，作为输入的给定声压。声压的参考值为1 Pa或94 dBSPL @ 1kHz。声压级，以分贝表示，dBSPL = 20 * Log（P / Po），其中Po =20μPa是听力阈值。 20 * Log（1Pa /20μPa）= 94 dBSPL
信噪比指定给定参考信号与麦克风输出处的残余噪声量之间的比率。当声压为1Pa @ 1 kHz（麦克风灵敏度）时，参考信号是麦克风输出端的标准信号。噪声信号（残留噪声）是静音时的麦克风电输出
声学过载点是麦克风可以无失真地生成的最大音频信号。实际上，该规范允许在声学过载点处的失真方面高达10％
