目前通常意义上的大硅片其尺寸达到或超过 200mm(8 英寸)。
硅片也称硅晶圆,其主要作用是加工制作成各类电路结构,使之成为具有特定电性能的半导体产品。目前通常意义上的大硅片其尺寸达到或超过 200mm(8 英寸)。
大尺寸硅片的良品率极低,主要原因在于:1. 在大尺寸硅片的拉晶过程,晶柱的慢速旋转难以稳定,容易导致晶格结构缺陷2. 晶柱的直径越大也意味着其重量越大,边缘处容易出现翘曲。
大硅片是什么
大硅片指300 mm及以上的硅片
300mm硅片主要用于90nm以下制程的集成电路芯片。5G、IoT、人工智能、云计算、大数据等技术导入,带动半导体技术加速升级,进而推动着300mm硅片的需求