硬质氧化是在低温下得到的，生成的膜层较厚，一般有40-60um。
在氧化过程中，有大量的热量产生和气体放出，氧化膜内部生成大量的应力，氧化膜体积膨胀，应力释放，从而表面形成裂纹，越厚的膜层越容易出现这种现象，一般不视为一种不良现象。
