三氯硅烷是一种无机物，化学式为HCl3Si。为无色液体，极易挥发，溶于苯、醚等多数有机溶剂，性质稳定。主要用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。
