①排气阀片护盖拆除，折下保护盖的坚固螺丝，取下保护盖，注意不要损坏密封圈
②排气阀片压板拆解除
③排气阀片拆解除。
手套、口罩和装废油的袋子，是维护真空泵前三种必备的小东西。不同的行业和产品，等离子清洗形成的废气和真空泵油反应会生成各种脏污，尤其要注意是否有腐蚀性和毒性的气、液体对人体造成伤害。
