原理：反射式膜厚仪测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。
用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。
对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。 反射式膜厚仪的技术功能: 微电脑控制系统，大液晶显示、PLC操作面板，方便用户进行试验操作和数据查看。 严格按照标准设计的接触面积和测量压力，同时支持各种非标定制。 测试过程中测量头自动升降，有效避免了人为因素造成的系统误差。 支持自动和手动两种测量模式，方便用户自由选择。
系统自动进样，进样步距、测量点数和进样速度等相关参数均可由用户自行设定。 实时显示测量结果的较小值、平均值以及标准偏差等分析数据，方便用户进行判断。 配置标准量块用于系统标定，保证测试的精度和数据一致性。 系统支持数据实时显示、自动统计、打印等许多实用功能，方便快捷地获取测试结果。 标准的USB接口，便于系统与电脑的外部连接和数据。
