光刻机的工作操作比较简单，原理为快速放大光源，使光源在几秒内所发射的光脉冲的波长大于被放大的材料原子光谱的截面周长。并且所有组合后光刻机(电脑)要有同等能量以完成光刻。
根据原子结构的性质，光刻机会将其切割成一个个的一个一个的微粒。然后再放大，使光带到凹槽外将其刻到光滑的平面上。现在光刻的材料有很多，有很多就是用阳极树脂、玻璃及陶瓷等材料，可以在工作应力下发生形变。
