氮化铝的力学参数:
(1)高热导率 (理论值约320W/m·K)
(2)高绝缘性
(3)低热膨胀系数(4.5×10-6℃)与Si(3.5~4×10-6℃)和GaAs(6×10-6℃)匹配
(4)电性能优良(介电常数、介质损耗、体电阻率、介电强度)
(5)机械性能好
(6)耐腐蚀性好
(7)光传输特性好
氮化铝(AlN)是共价键化合物,原子晶体,属类金刚石氮化物、六方晶系,纤锌矿型的晶体结构,无毒,呈白色或灰白色,理论密度3.26g/cm3。
氮化铝陶瓷已成为新一代大规模集成电路、半导体模块及大功率器件的理想的散热和封装材料,大量应用于HBLED、UVLED封装、大功率集成电路、功率模块、RF射频/微波通讯、汽车电子、微电子半导体、影像传输等领域。