特种气体 specialily gas 用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包 括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
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特种气体系统 speciality gas system 特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
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特种气体间 speciality gas room 是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特 种气体的房间。
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硅烷站 silane station 是指放置硅烷储存设备(气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐)、硅烷气化装置及尾
