拆卸步骤如下
第一步，拆卸三角皮带，拆卸泵进出口管道和伴热蒸汽管线、氮气管线拆卸地脚螺栓，把真空泵移到检修平台
第二步，打开泵顶部各级盖板，用塞尺从上盖板处插人测量转子和各级隔板的前后间隙，做好记录
最后，在真空泵上部的整个平面位置用记号笔，做好明显标记以免恢复时出错标记清楚主动转子和从动转子的前后方位拆卸真空泵的泵体连接螺栓，逐级从尾端拆卸，同时测量和记录各级隔板之间的纸垫厚度，直到完全解体。用酒精清洗干净真空泵各部件，结垢的部分可用纱纸清理转子墙板和隔板拉毛的部分用锉刀修理平整，抛光机打磨光洁
