已经研究了四十多年！但距世界先进水平还有很大差距，之所以存在这个问题，是综合国力问题，1977年我国正处于改革开放前夕，虽然在科研方面我国成功研发出了第一台接触式光刻机，但是综合国力尚且还很薄弱，国家处于转弯阶段，从政策到力量到支持都不足以支撑光刻机技术继续研发下去。
