1、通过产品质量的稳定性及工艺控制文件的完善性评价。
2、工艺成熟度首先表现为产品质量的稳定性，其次表现为工艺控制文件的完善。工艺除确定参数外，通过有效的过程设置，也能对人机料法环各方面的波动予以有效控制，因此，其工艺文件除工艺卡外，还包括工艺控制文件，如作业指导书、特殊过程控制程序。
3、考虑技术的进步，工艺成熟度的评价需要定期验证。
